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許多半導體制造時,都是添加石墨粉來提高商品性能,但并不是全部石墨粉都能達到要求。在半導體的應用中,石墨粉通常要考慮純度、粒度、耐熱的規定。下邊就是說半導體用石墨粉的采用規定:
1、純度規定
半導體工業生產對石墨粉原料規定很高,特別是在是兩者之間觸碰的石墨器件,假如雜質過多會污染原材料。因此除嚴格管理石墨原料的純度外,也要經高溫將灰度降至很少。
2、粒度分布規定
半導體工業級石墨原材料規定顆粒物度要細,顆粒物度細的石墨非常容易做到生產加工精密度,且高溫抗壓強度高,耗損小。
3、耐熱規定
半導體工業生產石墨器件,大多數要開展不斷加溫和制冷,為提升器件的使用期,石墨原材料要在高溫下具備優良的可靠性和耐高溫沖擊性性能。
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